DISPOSITIVO Y MÉTODO DE IRRADIACIÓN RADIAL UNIFORME PARA SILICIO MONOCRISTALINO DE GRAN TAMAÑO

Solicitante

Inventores (7)

Clasificación Internacional de Patentes (IPC)

Resumen técnico

La presente invención proporciona un dispositivo de irradiación radial uniforme y método para silicio monocristalino de gran tamaño, donde el dispositivo de irradiación radial uniforme para silicio monocristalino de gran tamaño comprende: un cuerpo cilíndrico, el cual permite colocar un lingote de silicio para ser irradiado; una capa de blindaje neutrónico, la cual se coloca fuera del cuerpo cilíndrico y se configura para evitar que los neutrones ingresen al cuerpo cilíndrico, y una hendidura provista en una dirección circunferencial de la capa de blindaje neutrónico y que se configura para permitir a los neutrones ingresar al cuerpo cilíndrico para formar una región de flujo de neutrones; un bloque reflectante, que se coloca en un extremo del lingote de silicio, de modo que los neutrones que ingresan al bloque reflectante por medio de la hendidura sean dispersados y luego irradien al lingote de silicio desde una cara del extremo del bloque reflectante; y un mecanismo de accionamiento de rotación, que se ubica en el cuerpo cilíndrico y se configura para conducir al lingote de silicio a rotar. La capa de blindaje neutrónico y el bloque reflectante se ubican fuera del silicio monocristalino, de modo que la posición y dirección de neutrones que ingresan al lingote de silicio pueden modificarse, mientras que el lingote de silicio es rotado en coordinación durante la irradiación, y por lo tanto logra la uniformidad radial del dopado de irradiación del silicio monocristalino de gran tamaño.